

P815型CMP抛光液是联禾生产的新一代高纯度蓝宝石基片抛光,适用于蓝宝石衬底片和蓝宝石窗口片的表面平整化加工。该产品粒径分散度低、稳定性好、浓度高、可循环使用。尤其对窗口片具有较高的材料去除速率,抛光后基片表面易清洗。该产品适用于蓝宝石衬底片、窗口片的粗抛和精抛,加工后表面质量符合工业生产的要求。
主要特点
P815型蓝宝石衬底CMP浆料选用纳米SiO2水溶胶作为磨料,具有抛光后易清洗、材料去除速率高、抛光划伤少、平整度高等优点。抛光浆料中含复配的抛光加速剂和极少量表面活性物质,能够在抛光过程中保证质量传输的一致性,提高抛光效率。抛光中根据需要可以优化不同配比以达到最佳使用效果。与国内外同类产品相比,该产品在CMP过程中无结晶,划伤等问题,抛光速率较快且产品性能稳定。
主要用途
主要用于2、4、6英寸等蓝宝石A,C相衬底,适用手表·手机·军工等视窗片
基本参数
pH值 | 比重 | 粘度25℃ | 磨料粒径 | 外观 |
9.30—11.5 | 1.270—1.290 | 2.5—5.0 | 120-150nm | 乳白色 |
使用方法
P815型蓝宝石抛光液建议和去离子水的配比为1:1或1:2,也可根据实际工艺要求改变配比。
运输及保存
1、 运输与存放温度为10-35℃,25℃为最佳存放温度,存放时应避光,以避免浆料变质。
2、 保质期一年,建议半年使用。
3、 避免强电解质的接触以及其他污染。
包装规格 25kg桶,1000kg/桶