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CMP抛光液

联禾润滑油

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产品详细介绍

P815型CMP抛光液是联禾生产的新一代高纯度蓝宝石基片抛光,适用于蓝宝石衬底片和蓝宝石窗口片的表面平整化加工。该产品粒径分散度低、稳定性好、浓度高、可循环使用。尤其对窗口片具有较高的材料去除速率,抛光后基片表面易清洗。该产品适用于蓝宝石衬底片、窗口片的粗抛和精抛,加工后表面质量符合工业生产的要求。

主要特点

P815型蓝宝石衬底CMP浆料选用纳米SiO2水溶胶作为磨料,具有抛光后易清洗、材料去除速率高、抛光划伤少、平整度高等优点。抛光浆料中含复配的抛光加速剂和极少量表面活性物质,能够在抛光过程中保证质量传输的一致性,提高抛光效率。抛光中根据需要可以优化不同配比以达到最佳使用效果。与国内外同类产品相比,该产品在CMP过程中无结晶,划伤等问题,抛光速率较快且产品性能稳定。

主要用途


主要用于2、4、6英寸等蓝宝石A,C相衬底,适用手表·手机·军工等视窗片

基本参数

pH值

比重

粘度25℃

磨料粒径

外观

9.30—11.5

1.270—1.290

2.5—5.0

120-150nm

乳白色

 

使用方法

P815型蓝宝石抛光液建议和去离子水的配比为1:1或1:2,也可根据实际工艺要求改变配比。

运输及保存

1、 运输与存放温度为10-35℃,25℃为最佳存放温度,存放时应避光,以避免浆料变质。

2、 保质期一年,建议半年使用。

3、 避免强电解质的接触以及其他污染。

包装规格 25kg桶,1000kg/桶


 
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