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P816型蓝宝石衬底CMP抛光液是联禾生产的新一代水溶性高纯度胶体，主要用于蓝宝石衬底表面高质量平整化加工。该产品具有粒径分散度低、稳定性好、浓度高、可循环使用等特点。该产品对蓝宝石衬底进行CMP加工，能够实现材料去除速率高，表面平整度高、粗糙度低，表面无塌边、麻点、腐蚀坑等微缺陷，多项参数达到国际先进水平。该产品适用于粗抛和精抛，也可以用于蓝宝石加工的一步抛光工艺，加工后表面质量符合工业生产的要求。
主要特点
P816型蓝宝石衬底CMP抛光液用特选的纳米SiO2水溶胶作为磨料，具有金属杂质沾污极少、易清洗、加工速率高、损伤层小、平整度高，避免晶片出现划伤等特点。抛光浆料中加入了特有的抛光促进剂以及活性物质，能够在抛光过程中保证质量传输的一致性，提高抛光效率。抛光中根据需要可以优化不同配比，均能达到最佳使用效果。与国内外同类产品相比，该产品在CMP过程中无结晶，划伤等问题，抛光速率较快而且稳定。
主要用途
主要用于2、4、6英寸等蓝宝石C相衬底，适用手表·手机·军工等视窗片
基本参数
pH值 | 比重 | 粘度25℃ | 磨料粒径 | 外观 |
9-10.5 | ＞1.20 | ＜10（mPa.s） | 90-100（nm） | 乳白 |
使用方法
P816型蓝宝石抛光液和去离子水的配比根据现场需要0.5-1倍，也可根据实际工艺要求改变配比。
运输及保存
1、 运输与存放温度为10-35℃，25℃为最佳存放温度，存放时应避光，以避免浆料变质。
2、 保质期一年，建议半年使用。
3、 避免金属、颗粒污染，避免强电解质的接触。
包装规格
25kg/桶，1000kg/桶
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